Beläggningsteknik för optisk vakuumbeläggningsmaskin

Optiska vakuumbeläggningsmaskiner används flitigt i branschen, såsom mobiltelefonkameror, mobiltelefonfodral, mobiltelefonskärmar, färgfilter, glasögonlinser etc. Precisionsstandarden är mycket hög och olika beläggningar kan beläggas, såsom AR antireflexfilm, dekorativ konst Plastfilmer, motorkeramiska filmer, förbättrade reflekterande filmer, ITO-ledande filmer och antifouling-filmer har en hög andel av försäljningen på marknaden.

Vilken processteknik använder den optiska vakuumbeläggningsmaskinen för att belägga så många lager?

När den optiska vakuumbeläggningsmaskinen förångas och ackumuleras, värms källråvarorna i vakuumsystemet eller jonstrålar negativa elektroner för att förångas. Ånga misstänks finnas på den optiska ytan. Under förångningsperioden, enligt den exakta hanteringen av uppvärmningen, vakuumpumpens arbetstryck och den exakta placeringen och rotationen av substratet, kan en enhetlig optisk beläggning med en speciell tjocklek produceras. Förångningen har relativt milda egenskaper, vilket kommer att göra beläggningen mer och mer lös eller porös. Denna typ av lös beläggning har förmågan att absorbera vatten, vilket förändrar filmens rimliga brytningsindex, vilket kommer att resultera i minskade egenskaper. Flyktiga beläggningar kan förbättras med elektronstråleassisterad deponeringsteknik, under vilken elektronstrålen riktas mot skivans yta. Detta förbättrar adsorptionen av källmaterialets relativa optiska ytskikt, vilket resulterar i en stor mängd inre spänningar, vilket främjar högre densitet och mer hållbarhet hos beläggningen.

Det högenergielektrostatiska fältet kan accelerera elektronstrålen i elektronstrålemagnetronförstoftningen (IBS) hos den optiska vakuumbeläggaren. Dessa momentana hastigheter inducerar betydande mekanisk energi i de positiva jonerna. Vid kollision med källmaterialet "förstörar" elektronstrålen målmaterialets molekyler. De magnetronförstoftade positiva måljonerna (molekyler omvandlas till positiva joner av hydrolyszonen) har också mekanisk energi, vilket resulterar i en tät film när de kommer i kontakt med den optiska ytan. IBS är en exakt och repeterbar teknik.

Optisk vakuumbeläggning Plasmamagnetronförstoftning är en allmän term för en rad teknologier såsom avancerad plasmamagnetronförstoftning och magnetronförstoftning. Oavsett vilken typ av teknik det är, inkluderar det skapandet av plasma. Positiva joner i plasman accelereras in i källmaterialet, kolliderar med lösa energiska positiva joner och magnetronsputtrar sedan på den övergripande optiska målkomponenten. Även om olika typer av plasmamagnetronförstoftning har sina unika egenskaper, fördelar och nackdelar, kan vi kombinera denna teknik, eftersom de har samma princip, skillnaden mellan dem, jämför denna typ av beläggningsteknik och papperet. skiljer sig mycket mindre från varandra.

Till skillnad från förångningsdeposition förångas inte källmaterialet som används för molekylär lageravsättning (ALD) från vätskan, utan finns omedelbart i form av en ånga. Även om processen använder en ånga, är höga omgivningstemperaturer fortfarande nödvändiga i vakuumsystemet. Under hela processen med ALD levereras gaskromatografiprekursorn enligt den icke-interfolierade enstaka pulsen, och den enda pulsen är självbegränsad. Denna typ av bearbetning har ett unikt kemiskt designschema, varje enskild puls fäster bara vid ett lager, och det finns inga speciella krav på geometrin hos det optiska ytskiktet. Därför tillåter denna typ av bearbetning oss att kontrollera tjockleken och designen av beläggningen i relativt hög grad, men det kommer att minska ackumuleringshastigheten.