Förstå hur vakuumbeläggningsprocessen realiseras

2023-06-26

Vakuumbeläggningär en process som används för att tillverka tunnfilmmaterial av hög kvalitet. Det producerar tunna filmer genom att termiskt avdunsta eller sputtera organiska eller oorganiska material på ytan av ett underlag under vakuumförhållanden. Den här artikeln kommer att införa implementering av vakuumbeläggning i detalj.

Vakuumbeläggningsprocessen innehåller följande steg:

1. Välj rätt underlag och material

Att välja rätt underlag och material är det första steget i vakuumbeläggning. Underlaget kan vara glas, plast, metall eller andra nanomaterial. Material kan vara organiska eller oorganiska, såsom metaller, halvledare, oxider eller nitrider.

2. Ladda vakuumbeläggningssystemet

Det andra steget är att ladda underlaget och materialet i vakuumbeläggningssystemet. Vakuumbeläggningssystemet inkluderar en vakuumkammare, en metallindunstare, en sputter och ett kontrollsystem. Vakuumkammaren är ett stängt utrymme som används för att upprätthålla en vakuummiljö, metallindunstare och sputter är enheter som används för att avdunsta eller sputtera material på underlag, och kontrollsystemet används för att övervaka och justera vakuummiljön och materialindunstning eller sputteringshastighet.

3. Vakuum

Efter laddning av materialet och underlaget bör vakuumkammaren evakueras. Dammsugning är ett mycket viktigt steg, eftersom att upprätthålla en miljö med låg tryck och hög renhet kan garantera membranets kvalitet. Vakuummiljön är vanligtvis under 10^-6 mbar för att utesluta gasmolekyler och andra föroreningar.

4. Material förångning eller sputtering

När vakuummiljön når det önskade trycket kan materialet indunstas eller sputtas på underlaget. Det finns två metoder för materialindunstning: termisk avdunstning och elektronstråleindunstning. Sputtering har också två metoder: magnetron sputtering och bågsputtering. Oavsett vilken metod som används måste materialet förångning eller sputtering och filmtjocklek styras.

5. Gör flerskiktsfilm

När ett enskiktsmembran har tillverkats kan flera lager staplas ihop för att bilda en komposit. Olika material och deponeringsprocesser kan användas, såsom växlande deponering, multi-pistolmaterial-co-deponering och zonerad avsättning.

6. Testmembrankvalitet

Det sista steget är att testa membranets kvalitet. Tester kan inkludera tjocklek, fysiska egenskaper, optiska egenskaper och elektriska egenskaper, bland andra. Bestäm om membranmaterialet uppfyller kraven enligt testresultaten.

Kort sagt, vakuumbeläggningsteknik är en metod för att uppnå tunna filmer av hög kvalitet. Den måste välja lämpligt underlag och material, ladda vakuumbeläggningssystemet, dammsuga, material förångas eller sputter, göra flerskiktsfilm och testa filmkvaliteten. Vakuumbeläggningsteknologi har använts i stor utsträckning inom elektronik, optik, medicinska och energifält.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy