Tryckkontrollprincip för vakuumbeläggningsutrustning

1. Bakgrundsintroduktion
Vakuumbeläggningsutrustning är en slags utrustning som används i allmänhet i industriell produktion. Dess huvudfunktion är att sätta materialet som måste beläggas i vakuumbeläggningskammaren, och genom reaktionen under hög temperatur och hög vakuummiljö är filmskiktet jämnt avsatt på materialets yta. och bilda ett visst beläggningsskikt med specialfunktioner och egenskaper. Bland dem är vakuumgraden och vidhäftningshastigheten i utrustningen viktiga indikatorer som påverkar beläggningsskiktets kvalitet, och stabiliteten i vakuumgraden beror på tryckkontrollen i utrustningen.
2. Principen om tryckkontroll av vakuumbeläggningsutrustning
1. Definition av vakuumgrad
Innan principen om tryckkontroll introduceras är det nödvändigt att införa vad vakuum är. I fysiken hänvisar vakuum till en gasmiljö vars tryck är mindre än atmosfäriskt tryck, så graden av vakuum hänvisar till gastrycket i ett visst utrymme. I allmänhet mäts vakuum vanligtvis i pascals (PA) eller meter bar (MBAR). I vakuumbeläggningsutrustning är det vanliga vakuumet 10^-6pa ~ 10^-2pa.
2. Principen om tryckkontroll
När vakuumet är för högt eller för lågt kommer det att påverka den normala driften av utrustningen. Därför är det nödvändigt att kontrollera vakuumnivån i utrustningen genom en viss metod. Bland dem är tryckkontroll en relativt enkel och effektiv kontrollmetod. Specifikt är principen för tryckkontroll att använda en tryckkontroll för att kontrollera gasflödeshastigheten i utrustningen genom att upptäcka trycket från det kontrollerade änden och sedan genom återkopplingsmekanismen genom att kontrollera ventilens öppning för att uppnå syftet med att kontrollera trycket.
3. Den grundläggande sammansättningen av tryckkontrollern
I vakuumbeläggningsutrustning används vanligtvis en tryckkontroll för att kontrollera trycket. Dess grundläggande sammansättning inkluderar fyra delar: detektionssensor, styrenhet, ställdon och styrsystem.
Detektionssensor: Den används huvudsakligen för att detektera tryckförändringen av den kontrollerade änden och omvandla den till en motsvarande elektrisk signalutgång för användning av styrenheten.
Controller: Den får huvudsakligen den elektriska signalutgången från sensorn, bearbetar och analyserar den och matar sedan analysresultatet till ställdonet för att kontrollera öppningsgraden för ställdonet.
Ställdon: Den styr främst flödeshastigheten för gas i utrustningen genom att kontrollera ventilens öppningsgrad för att uppnå syftet med att kontrollera trycket.
Kontrollsystem: Det används främst för att övervaka och kontrollera olika indikatorer i utrustningen, såsom temperatur, vakuumgrad, etc., och göra en serie kontrollstrategier.
3. Sammanfattning
Sammanfattningsvis är principen om tryckkontroll i vakuumbeläggningsutrustning att kontrollera trycket i utrustningen genom en relativt enkel och effektiv återkopplingsmekanism. För att upprätta ett sådant stabilt kontrollsystem krävs teknisk stöd från olika aspekter av utrustningsstyrningssystemet, såsom parameterövervakning, kontrollalgoritm, ställdonskontroll, systembindning, etc. Dessa tekniska faktorer kräver samarbete mellan viss professionell och teknisk personal för att säkerställa att utrustningen kan visa mer utmärkt prestanda.