Designegenskaper för vakuumbeläggningsmaskin Multi-roterande skivans jämförelseutrustning

1) Formuleringen av cylindrisk form, stor diameter och tunnväggig struktur av fast cylinder 3 och bestämningsmetoden för axiell symmetri kan säkerställa att den har tillräcklig styrka och böjningsstyvhet, och samtidigt kan det också förhindra den höghelande magnetronen som sputterar den slitstödande materiella föroreningar i dess inre strukturella delar, vilket möjliggör den högsta magnetronen som sputterar den slitstödande materiella föroreningar miljön i dess interna strukturella delar, vilket möjliggör den högsta magnetronen som sputterar den slitstödande materiella föroreningar miljön i dess interna strukturella delar, vilket möjliggör den operationella flexibiliteten för den roterande roten 15-roten.
2) konstruktionsschemat för det ringformiga sittlaget 2 säkerställer tätningsprestanda och vertikal vinkel på den sittande lagerinstallationen; expanderar diameterspecifikationen för axeln 1, ökar installationsintervallet mellan de två rullande lagren i sittande lager 2, och förbättrar sin egen styrka och böjningsstyvhet, för att säkerställa böjningsstyvheten hos axeln 1 efter hela rotationsprocessen, flexibiliteten i rotationsoperationen för den roterande skivan 15 och den konsistensen av upprepade delar.
3) Att bära den utbytbara vävnaden, enligt diametern på den utvidgade stödplattan 16, kan det rimliga totala arean i vävnaden i planvyvinkeln förstoras, och en jämförande bit med en stor diameter (φ26,5 mm) kan installeras, vilket är fördelaktigt för slingjusteringen och förbättrar kvaliteten på den optiska filmen; Det relativa arket 12 är tillverkat av lamtyp laminerat glas som en jämförande arkmodul, och det jämförande arket antar den tredimensionella ackumuleringsmetoden i inomhusutrymmet. Filmen jämförs med filmen, som löser problemet att den dubbelskikts högprecision optiska filmen är belagd av beläggningsutrustningen, och antalet filmer är relativt litet, vilket påverkar antalet överlagrade lager och precision av beläggningen på ytan.
4) Samarbeta med positioneringsplattan 6 och den optiska kopplingstypen av slot-typen, känner igen de tre genomsnittliga 120 ° dubbla slitsarna på positioneringsplattan enligt den optiska kopplingen av slot-typen och kontrollerar motorns rotation för att stoppa. Konsistensen i den exakta placeringen av rotationen av axeln 1 säkerställs upprepade gånger, och den roterande skivan 15 pressas för att utföra en exakt utdragbar hållning.
5) Den roterande tätningsmekanismen introducerar Wilson-tätningsmekanismen 5, som inte bara säkerställer den känsliga rotationen av motorn 9 för att driva axeln 1 enligt växellådan, utan också säkerställer att vakuumkammarens tätningseffekt är till omvärlden. Den optimerade vakuumbeläggningsmaskinen med flera roterande skivor är en relativt tunn filmutrustning. Dess egenskaper är: (1) enkel struktur, hög tryckhållfasthet och god stabilitet; Optisk film; (3) Jämfört med utvidgningen av filmdiametern förbättras precisionen för plastfilmövervakning, kraven för hårdvarusystemet reduceras och systemprogramvaran är mycket lätt att slutföra det automatiska styrsystemet; (4) Underhållskostnaden är låg.
Enligt optimeringen avvakuumbeläggningsmaskinMultirotär jämförelse av bladet, det säkerställer samordningen och upprepad konsistens i rotationen av den relativa bladstrukturen och löser problemet att det relativa området är litet, slingjusteringen är obekväm och den optiska signalfrekvensen är stabil. Det löser problemet med dålig latitud och löser problemet med mindre totala antal ark, vilket kan förbättra kvaliteten på optiska filmer belagda av den ursprungliga vakuumbeläggningsmaskinen, och mer än 30 lager optiska filmer kan beläggas. Praktisk erfarenhet har visat att denna jämförande arkstruktur är effektiv och kan marknadsföras och implementeras inom området elektroniska optiska vakuumbeläggningsmaskiner idag.